Gängige Arten von Sensoren

Resistiver Typ
Ein Widerstandssensor ist ein Gerät, das gemessene physikalische Größen wie Verschiebung, Verformung, Kraft, Beschleunigung, Feuchtigkeit, Temperatur usw. in Widerstandswerte umwandelt. Es gibt hauptsächlich Widerstandsdehnungssensoren, piezoresistive Sensoren, Wärmesensoren, Wärmesensoren, Gassensoren, Feuchtigkeitssensoren und andere Widerstandssensorkomponenten.
Widerstands-Dehnungsmessstreifen
Der Dehnungsmessstreifen im Sensor hat den Metalldehnungseffekt, d. h. er erzeugt unter Einwirkung äußerer Kraft eine mechanische Verformung, so dass sich der Widerstandswert entsprechend ändert. Es gibt hauptsächlich zwei Arten von Dehnungsmessstreifen: Metall und Halbleiter. Metalldehnungsmessstreifen können in Drahttyp, Folientyp und Filmtyp unterteilt werden. Der Halbleiter-Dehnungsmessstreifen hat die Vorteile einer hohen Empfindlichkeit (normalerweise ein Dutzend Mal so hoch wie beim Draht- und Folientyp) und einem geringen Quereffekt.
Piezoresistiver Typ
Ein piezoresistiver Sensor ist ein Gerät, das durch Diffusion von Widerstand auf dem Substrat aus Halbleitermaterial entsprechend dem piezoresistiven Effekt des Halbleitermaterials hergestellt wird. Das Substrat kann direkt als Messfühler verwendet werden und der Diffusionswiderstand ist in Form einer elektrischen Brücke mit dem Substrat verbunden. Wenn sich das Substrat aufgrund äußerer Kräfte verformt, ändern sich die Widerstandswerte und die Brücke erzeugt einen entsprechenden unausgeglichenen Ausgang.
Die für piezoresistive Sensoren verwendeten Substrat- (oder Membran-)Materialien sind hauptsächlich Siliziumwafer und Germaniumwafer. Piezoresistive Silizium-Sensoren aus Siliziumwafern als empfindliche Materialien finden zunehmend Beachtung, insbesondere piezoresistive Festkörpersensoren, die Druck und Geschwindigkeit messen.
Wärmewiderstand
Die Temperaturmessung des thermischen Widerstands basiert auf der Eigenschaft, dass der Widerstandswert eines Metallleiters mit zunehmender Temperatur zur Temperaturmessung zunimmt. Die meisten Wärmewiderstände bestehen aus reinen Metallmaterialien, wobei Platin und Kupfer am häufigsten verwendet werden. Darüber hinaus werden Materialien wie Nickel, Mangan und Rhodium zunehmend zur Herstellung von Wärmewiderständen verwendet.